芯片車間的潔凈標(biāo)準(zhǔn)堪稱嚴(yán)苛，核心區(qū)域需達(dá)到ISO4級(jí)（每立方米≥0.1μm微粒≤352個(gè)）。這里采用“頂棚FFU+高架地板回風(fēng)”的垂直單向流設(shè)計(jì)，風(fēng)速穩(wěn)定在0.45m/s±20%，確保微粒被定向帶走。墻面選用304不銹鋼激光焊接，地面鋪設(shè)導(dǎo)電PVC卷材，通過(guò)接地系統(tǒng)消除靜電干擾——哪怕100V的靜電放電，都可能擊穿芯片內(nèi)的納米級(jí)電路。?

    相比之下，PCB（印制電路板）車間執(zhí)行ISO6級(jí)標(biāo)準(zhǔn)即可，但有特殊的污染物控制需求。蝕刻工序區(qū)需配備酸性氣體收集裝置，局部排風(fēng)風(fēng)速達(dá)1.2m/s，通過(guò)化學(xué)過(guò)濾器中和有害氣體。而SMT（表面貼裝）車間則重點(diǎn)控制溫濕度，將溫度鎖定在23℃±2℃，相對(duì)濕度50%±5%，防止元件因熱脹冷縮產(chǎn)生焊接偏差。?

    分級(jí)設(shè)計(jì)的精髓在于“按需分配”。輔助功能區(qū)（如更衣間、物料緩沖區(qū)）采用ISO8級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，通過(guò)氣閘室與潔凈區(qū)形成5-10Pa的壓差梯度。這種差異化設(shè)計(jì)可使整體能耗降低30%以上，同時(shí)避免過(guò)度凈化造成的資源浪費(fèi)。驗(yàn)收時(shí)，需用激光粒子計(jì)數(shù)器在不同工況下（靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）連續(xù)監(jiān)測(cè)，確保各區(qū)域參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。