潔凈室潔凈度等級(jí)的劃分
在我國(guó)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50073-2002中對(duì)潔凈室潔凈度等級(jí)已做出了規(guī)定(見下表),這一規(guī)定是采用了國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644中的潔凈度等級(jí)。目前,我國(guó)、歐盟、日本、俄羅斯等國(guó)的潔凈度等級(jí)均采用或參照上述國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)來(lái)制訂本國(guó)或本地區(qū)的潔凈室潔凈度的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。美國(guó)也將本國(guó)的FS 209E中潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)修改為ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)。
	
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子的潔凈度等級(jí)(ISO 14644)
| 
				 空氣潔凈度等級(jí)(N)  | 
			
				 ≥表中粒徑的較大濃度限值(個(gè)/m3)  | 
		|||||
| 
				 0.1 μm  | 
			
				 0.2 μm  | 
			
				 0.3 μm  | 
			
				 0.5 μm  | 
			
				 1 μm  | 
			
				 5 μm  | 
		|
| 
				 1  | 
			
				 10  | 
			
				 2  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
		
| 
				 2  | 
			
				 100  | 
			
				 24  | 
			
				 10  | 
			
				 4  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
		
| 
				 3  | 
			
				 1000  | 
			
				 237  | 
			
				 102  | 
			
				 35  | 
			
				 8  | 
			
				 /  | 
		
| 
				 4  | 
			
				 10,000  | 
			
				 2370  | 
			
				 1020  | 
			
				 352  | 
			
				 83  | 
			
				 /  | 
		
| 
				 5  | 
			
				 100,000  | 
			
				 23700  | 
			
				 10,200  | 
			
				 3,520  | 
			
				 832  | 
			
				 29  | 
		
| 
				 6  | 
			
				 1,000,000  | 
			
				 237000  | 
			
				 102,000  | 
			
				 35,200  | 
			
				 8320  | 
			
				 293  | 
		
| 
				 7  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
			
				 352,000  | 
			
				 83,200  | 
			
				 2,930  | 
		
| 
				 8  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
			
				 3,520,000  | 
			
				 832,000  | 
			
				 29,300  | 
		
| 
				 9  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
			
				 /  | 
			
				 35,200,000  | 
			
				 8,320,000  | 
			
				 293,000  | 
		
注:
① 每點(diǎn)至少采樣3次。
② 本標(biāo)準(zhǔn)不適用表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。
③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2個(gè)粒徑。
④ 根據(jù)要求粒徑D的粒子較大允許濃度由下式確定(粒徑0.1μm~5μm)
	
式中: N —為潔凈度等級(jí)可在1~9級(jí)中間以0.1為較小單位遞增量插入。
CN —大于或等于要求粒徑的粒子較大允許濃度(PC/m3),以四舍五入至近似的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù)。
D —要求的粒徑(μm)。
0.1—常數(shù)(μm)。